MSB-reeks mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer
-
MSB-reeks mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer
Die RHH-reeks RF-kragtoevoer maak staat op volwasse RF-genereringstegnologie om kliënte van 'n RF-kragtoevoer met groter krag, hoër presisie en vinnige reaksie te voorsien. Met fase-instellings, pulsbeheer, digitale afstemming en ander funksies. Toepaslike velde: fotovoltaïese industrie, platskermbedryf, halfgeleierbedryf, chemiese industrie, laboratorium, wetenskaplike navorsing, vervaardiging, ens.
Toepaslike prosesse: plasma-versterkte chemiese dampafsetting (PECVD), plasma-etsing, plasmaskoonmaak, radiofrekwensie-ioonbron, plasmadiffusie, plasmapolimerisasie-sputtering, reaktiewe sputtering, ens.