MSB-reeks Mediumfrekwensie Sputterkragtoevoer

Kort beskrywing:

RHH-reeks RF-kragtoevoer maak staat op volwasse RF-generasietegnologie om kliënte van RF-kragtoevoer te voorsien met groter krag, hoër akkuraatheid en vinnige reaksie.Met fase kan ingestel word, polsbeheerbaar, digitale tuning en ander funksies.Toepaslike velde: fotovoltaïese industrie, plat paneel vertoon industrie, halfgeleier industrie, chemiese industrie, laboratorium, wetenskaplike navorsing, vervaardiging, ens.

Toepaslike prosesse: plasma versterkte chemiese dampneerslag (PECVD), plasma-ets, plasma skoonmaak, radiofrekwensie ioonbron, plasma diffusie, plasma polimerisasie sputtering, reaktiewe sputtering, ens.

Produkbesonderhede

Produk Tags

Stuur e-pos aan ons

Kenmerke

● Halfsteen- en rakmonteerstyle

● Neem volledige digitale beheer aan, met gerieflike en ryk bedieningsmenu

● Frekwensie-instelling, pols en pols sinchronisasie funksies

● Met CEX fase sinchronisasie funksie

● Perfekte beskermingsfunksie

Produkbesonderhede

Invoer	Insetspanning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Spesiale spesifikasies kan aangepas word)
Invoer	Invoerfrekwensie: 47~63Hz
Uitset	Uitsetfrekwensie: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Verstelbereik: ±5%
	Uitsetkrag: 1,5~5kW
	Reguleringsreeks van uitsetkrag: 1~100%
	Uitsetimpedansie: 50Ω+j0
	Uitset koppelvlak: tipe N
	Uitsetmodus: deurlopend, pols
	Polsfrekwensie: 100Hz~100kHz
	Diensiklus: 5~95%
Prestasie-indeks	Kragfaktor: 0,98
	Frekwensie stabiliteit akkuraatheid: ± 0,005%
	Doeltreffendheid: 75% (teen gegradeerde uitset)
	Harmonies: ＜-45dBc
	Verdwaalde: ＜-50dBc
	Eksterne beheerkoppelvlak: analooghoeveelheid, kommunikasie en sinchronisasie
	Kommunikasiemodus: Standaard RS485 kommunikasie koppelvlak;Opsionele Ether CAT, industriële Ethernet, ens.
Let wel: die produk gaan voort om te innoveer en die werkverrigting verbeter steeds.Hierdie parameterbeskrywing is slegs vir verwysing.